明睿陶瓷专业生产用于半导体设备上使用的陶瓷配件,例如陶瓷手臂,模块等。主要材料包括95-99.9%氧化铝,氧化锆,以及氮化硅,碳化硅陶瓷。基本尺寸精度可以控制在0.005mm左右。
主要特点:
・致密质,高硬度,高耐磨性
・良好的耐热性能
・优良的机械强度
・高温环境仍具有良好的绝缘性
・良好的抗腐蚀性
应用领域:
・耐磨耗衬板材料,
・半导体生产制造用备件,粉碎媒介
・耐热部件
・化学实验用各种备件
・化学品过滤器
・各种粉碎设备
・其它相关的半导体电子生产用备品备件